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村野 健二 | 東海大学工学研究科
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同名の論文著者
東海大学工学研究科の論文著者
関連著者
小野 祐起
東海大学工学研究科
村野 健二
東海大学工学研究科
犬島 喬
東海大学電子情報学部エレクトロニクス学科
犬島 喬[他]
東海大学電子情報学部エレクトロニクス学科
著作論文
ECR共鳴点成膜法によるAl_In_xN薄膜の作製
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