TANAKA Masafumi | R & D Center, Toshiba Ceramics Co., Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• R & D Center, Toshiba Ceramics Co., Ltd.の論文著者

関連著者

• Goto H

  Silicon Development Silicon Division Toshiba Ceramics Co. Ltd.

• GOTO Hiroyuki

  Silicon Development, Silicon Division, Toshiba Ceramics Co., Ltd.

• PAN Lian-Sheng

  R & D Center, Toshiba Ceramics Co., Ltd.

• TANAKA Masafumi

  R & D Center, Toshiba Ceramics Co., Ltd.

• KASHIMA Kazuhiko

  Technical application, Silicon Division, Toshiba Ceramics Co., Ltd.

著作論文

• Intrinsic Gettering in Nitrogen-Doped and Hydrogen-Annealed Czochralski-Grown Silicon Wafers

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