福永 明 | 荏原製作所精密・電子事業カンパニー
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概要
荏原製作所精密・電子事業カンパニー | 論文
- 21405 三次元実装用Cu貫通電極形成のための電解めっき技術(デバイス&配線技術1,OS.1 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS),学術講演)
- シリコン貫通電極形成のためのめっき装置技術
- 20303 3次元実装用シリコン貫通電極形成のための銅めっき技術(OS3 機械工学が支援する微細加工技術(半導体・MEMS・NEMS)(1),オーガナイズドセッション)