波多野 達夫 | 東京エレクトロンat(株) Sd開発技術部門 バックエンドメタルプロジェクト

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概要

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関連著者

• 波多野 達夫

  東京エレクトロンat(株) Sd開発技術部門 バックエンドメタルプロジェクト

• 五味 淳

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• 安室 千晃

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• 石坂 忠大

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• 水澤 寧

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• 小田島 保志

  東京エレクトロン(株) 枚葉成膜部 interconnect グループ

著作論文

• CVD-Ruライナーを用いたCu配線技術

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