大久保 瞳 | 茨城大院

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概要

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関連著者

• 大久保 瞳

  茨城大院

• 清水 淳

  茨城大学工学部

• 江田 弘

  茨城大工

• 清水 淳

  茨城大工

• 周 立波

  茨城大工

• 江田 弘

  茨城大

• 大久保 瞳

  茨城大工

• 江田 弘

  茨城大学

• 周 立波

  茨城大

• 清水 淳

  茨城大

• 周 立波

  茨城大学工学部

• 江田 弘

  茨城大学工学部

• 張替 杏子

  茨城大

• 大久保 瞳

  茨城大学理工学研究科

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著作論文

• 906 Chemo-Mechanical-Grindingによるパターンウエハの平坦化に関する研究(関東支部 茨城講演会)
• パターンウエハの平坦化シミュレーション : モデルの理論構築(機械要素,潤滑,工作,生産管理など)
• 603 デバイスウエハの平坦化プロセスにおけるシミュレーション
• 602 CMG 砥石の開発に関する研究

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