相原 龍三 | 日本電子(株)

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概要

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関連著者

• 相原 龍三

  日本電子(株)

• 澤良木 宏

  日本電子(株)

• 笠原 春生

  日本電子(株)

• 相原 龍三

  日本電子株式会社 半導体機器技術本部 IEMグループ

• 小幡 睦憲

  日本電子株式会社 半導体機器技術本部 IEMグループ

• 沢良木 宏

  日本電子株式会社 半導体機器技術本部 IEMグループ

• 相原 龍三

  日本電子株式会社

著作論文

• 集束イオンビームによるイオン注入(アトミックルールプロセス)
• 低エネルギ-集束イオンビ-ム装置
• 集束イオンビーム描画装置用高圧電源
• 集束イオンビ-ムリソグラフィ- (ULSIリソグラフィ-への挑戦) -- (光に代る新技術の展望)

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