Hane M | The Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

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概要

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関連著者

• Hane M

  The Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

• Hasegawa Shinya

  The Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

• Hane Masami

  The Microelectronics Research Laboratories Nec Corporation

著作論文

• Dynamic-Clustering and Grain-Growth Kinetics Effects on Dopant Diffusion in Polysilicon (Special Issue on 1993 VLSI Process and Device Modeling Workshop (VPAD93))

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