Shin K | Pohang Univ. Sci. And Technol. Pohang Kor

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概要

• 同名の論文著者
• Pohang Univ. Sci. And Technol. Pohang Korの論文著者

関連著者

• Kim S‐j

  National Inst. Material Sci. (nims) Ibaraki Jpn

• KIM Seung-Joon

  Hyundai Electronics Co., Semiconductor R&D Div. 1

• SHIN Kisoo

  Hyundai Electronics Co., Semiconductor R&D Div. 1

• PARK Hee-Kook

  Hyundai Electronics Co., Semiconductor R&D Div. 1

• Shin K

  Pohang Univ. Sci. And Technol. Pohang Kor

• Park Hee-kook

  Hyundai Electronics Co. Semiconductor R&d Div. 1

• Kim Seung-joon

  Hyundai Electronics Co. Semiconductor R&d Div. 1

• SHIN Kisoo

  Hyundai Electronics Co., Semiconductor R&D Div. 1

著作論文

• Dry Post-Etch Treatment using SF_6 Chemistry for 0.2 μm Contact Hole

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