西村 哲郎 | (株)東芝生産技術研究所

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概要

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• (株)東芝生産技術研究所の論文著者

(株)東芝生産技術研究所 | 論文

• マスク基板の支持法に関する研究
• 走査型エキシマレーザ転写技術の開発
• 半導体製造装置における位置決め技術(超精密位置決め技術の現状)
• 半導体リードフレーム打抜きダイの破損とその対策
• 摩擦駆動を応用した光ディスク原盤露光装置用テーブル送り機構の開発

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