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根本 剛直 | 東京エレクトロン技術研究所(株)
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同名の論文著者
東京エレクトロン技術研究所(株)の論文著者
関連著者
根本 剛直
東京エレクトロン技術研究所(株)
中島 将太
東北大院
横堀 嘉光
東北大工
著作論文
116 数値解析によるUltra low-k眉間絶縁膜を採用したCu配線のストレスマイグレーション寿命予測(学生賞III)
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