田地 新一 | (株)日立製作所中央研究所

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概要

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関連著者

• 田地 新一

  (株)日立製作所中央研究所

• 小野 哲郎

  (株)日立製作所中央研究所

• 田地 新一

  (株)日立製作所研究開発推進本部

著作論文

• ドライエッチングの物理とプラズマ/表面反応
• ビームと固体表面の相互作用
• 半導体プロセスの処理速度におよぼす気流の効果 (特集:放電を利用する立場から見た気流の効果)
• プラズマエッチングとその表面反応(最新のプラズマプロセス技術)
• 低温ドライエッチング技術
• ULSI対応低温ドライエッチング技術 (64Mビット超々LSI時代にむけての先端加工技術)

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