坂東 賢一 | (株)小松製作所研究本部

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概要

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• (株)小松製作所研究本部の論文著者

関連著者

• 横田 眞一

  東京工業大学

• 坂東 賢一

  (株)小松製作所研究本部

• 板東 賢一

  (株)小松製作所研究本部

• 福原 聡

  (株)小松製作所研究本部

• 吉田 和弘

  東京工業大学精密工学研究所

• 岩渕 修

  (株)倉元製作所

• 長田 哲

  (株)小松製作所開発本部

• 吉田 和弘

  東京工業大学

• 奥村 卓司

  (株)小松製作所開発本部

• 森本 茂夫

  (株)小松製作所研究本部

• 大久保 英明

  (株)小松製作所研究本部

• 箕西 幹夫

  (株)小松製作所研究本部

• 板東 賢一

  東京工業大学大学院

• 須原 正明

  ダイキン工業(株)

• 須原 正明

  ダイキン工業(株)油機事業部

• 須原 正明

  ダイキン工業

• 横田 眞一

  東京工業大学 精密工学研究所

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著作論文

• 大きなむだ時間を有する非線形プロセスに対する非線形状態予測スライディングモード制御とその応用(機械力学,計測,自動制御)
• マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御 : 第2報,MEMS技術を応用したセンサの試作(機械力学,計測,自動制御)
• マイクロ温度センサを用いたIn-Situウェハ温度計測制御 : 第1報,ラージモデルを用いた実験的検討(機械力学,計測,自動制御)
• 加熱/冷却一体形プレートを用いたフォトレジストプロセスにおけるウェハの任意熱履歴制御(機械力学,計測,自動制御)
• モデル規範形スライディングモード制御を応用したマスター・スレーブ制御 : マルチゾーン形クーリングプレートの温度軌跡追従制御(機械力学,計測,自動制御)
• むだ時間を有するプロセスに対する離散時間スライディングモード制御と半導体製造用クーリングプレートへの適用(機械力学,計測,自動制御)
• 形状記憶合金アレイアクチュエータを用いた小形比例弁

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