小泉 光次 | 日本電波工業(株)

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概要

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関連著者

• 池田 正幸

  北海道大学工学研究科

• 池田 正幸

  北大

• 千葉 亜紀雄

  日本電波工業(株)

• 池田 正幸

  北海道大学

• 小泉 光次

  日本電波工業(株)

• 牧野 英司

  北海道大学工学部

• 柴田 隆行

  北海道大学大学院工学研究科

• 牧野 英司

  弘前大

• 岩崎 拓浩

  日本電波工業(株)

• 比留間 宣夫

  日本電波工業(株)

• 水野 成夫

  日本電波工業(株)

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著作論文

• 水晶複合板の高精度ポリシングの研究
• ポリシングパッドの粘弾性とポリシング機構の解析
• 水晶のコロイダルセリウムによるポリシング実験(第二報)-ポリシングおよびエッチング表面の解析-
• 3インチ水晶ウエハのポリシング加工精度の研究
• 水晶コロイダルセリウムによるポッリシング実験

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