渡邉 桂 | (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

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関連著者

• 渡邉 桂

  (株)東芝セミコンダクター社

• 渡邉 桂

  (株)東芝セミコンダクター社プロセス技術推進センター

• 渡邉 桂

  (株)東芝 研究開発センター デバイスプロセス開発センター

著作論文

• 45nm node向け塗布ポーラスlow-k膜の材料設計(配線・実装技術と関連材料技術)

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