竹迫 寿晃 | 広島工業大学工学部電子・光システム工学科

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概要

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• 同名の論文著者
• 広島工業大学工学部電子・光システム工学科の論文著者

関連著者

• 川畑 敬志

  広島工業大学工学部電子・光システム工学科

• 川畑 敬志

  広島工業大学

• 竹迫 寿晃

  広島工業大学工学部電子・光システム工学科

• 岡山 勇太

  広島工業大学工学部電子・光システム工学科

• 宮本 嗣久

  広島工業大学工学部電子工学科

• 古瀬 寛和

  広島工業大学工学部電子・光システム工学科

著作論文

• 高周波多重磁極スパッタ法によるニッケル薄膜の作製
• 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法により作製したニッケル薄膜の基板バイアス電圧依存性
• 誘導結合プラズマ支援型多重磁極マグネトロンスパッタ法によるニッケル成膜時の基板電流特性

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