関屋 慎 | 三菱電機(株)
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概要
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Shizuoka Works, Mitsubishi Electric Co.
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著作論文
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- ターボ分子ポンプの排気特性に関する研究 : 第2報, 多段翼列の排気特性解析
- ターボ分子ポンプの排気特性に関する研究 : 第1報,有限翼高翼列の排気特性