辰巳 徹 | 日本電気(株) シリコンシステム研究所

スポンサーリンク

概要

• 辰巳 徹の詳細を見る
• 同名の論文著者
• 日本電気(株) シリコンシステム研究所の論文著者

関連著者

• 辰巳 徹

  日本電気(株)

• 遠藤 和彦

  産業技術総合研究所

• 遠藤 和彦

  日本電気(株)

• 辰巳 徹

  日本電気(株) シリコンシステム研究所

著作論文

• フッ素化アモルファスカーボン膜を用いた低誘電率層間絶縁膜形成

スポンサーリンク