加藤 隆 | Fujitsu Limited

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概要

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関連著者

• 加藤 隆

  Fujitsu Limited

• 伊藤 隆司

  富士通研究所

• 伊藤 隆司

  東京工業大学ソリューション研究機構:広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

• 石丸 喜康

  Fujitsu Limited

• 芦田 裕

  Fujitsu Limited

• 古村 雄二

  Fujitsu Limited

• 堀川 甫

  Fujitsu Limited

著作論文

• CVD-SiO_2膜のガス放出特性
• 金属-Si接触における障壁と界面状態
• 高誘電率絶縁膜 (ULSIを支える材料とプロセス技術)

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