市川 宗次 | シグマテック(株)

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概要

• 同名の論文著者
• シグマテック(株)の論文著者

関連著者

• 大塚 二郎

  静岡理工科大学

• 大塚 二郎

  静岡理工科大学理工学部機械工学科

• 市川 宗次

  シグマテツク(株)

• 市川 宗次

  シグマテック(株)

• 大塚 二郎

  静岡理工科大

• 山口 祥之

  静岡理工科大学大学院理工学研究科

• 前田 浩利

  静岡理工科大学(院)

著作論文

• ナノメータ位置決め装置の熱変形ドリフト
• 0.5nm分解能超精密小型ステージの開発
• 超精密小型ステージ用0.5nm分解能変位センサの開発

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