王 磊 | Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University
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概要
Department Of Mechatronics & Precision Engineering Tohoku University | 論文
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (2)露光(講座「ちょっとMEMS」第9回)
- 配線やデバイスの立体化に可能性を開く3次元フォトリソグラフィ : (1)成膜(講座「ちょっとMEMS」第8回)
- アセンブリを支援するMEMS構造(講座「ちょっとMEMS」第7回)
- MEMSデバイス製作とアセンブリをマッチングする試み(講座「ちょっとMEMS」第6回)
- 高密度プラズマの光マイクロマシンへの応用(高密度プラズマとその応用技術の最前線)