左光 大和 | 東大生産研

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概要

• 同名の論文著者
• 東大生産研の論文著者

関連著者

• 左光 大和

  (株)岡本工作機械製作所

• 左光 大和

  東大生産研

著作論文

• Siウエハポリシング面のAFMによるあらさの評価(第11報) SiO_2探針による加工法
• テトラ-メチル-アンモニウム-のEMCポリシング (電気機械化学作用複合研磨)

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