岡田 勝 | 中部大学 工学部

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著作論文

• MOCVD法によるRuO2およびIrO2薄膜の強誘電体下部電極としての特性
• MOCVD法によるPLZT薄膜の組成とDRAMキャパシターとしての基礎特性
• 2-6.アドバンストPFBCにおけるCaSの酸化反応に関する研究(Session(2)石炭利用)
• MOCVD法によるPLZT強誘電体超薄膜の形成とその電気的特性

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