川崎 孝 | 九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

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概要

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• 同名の論文著者
• 九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻の論文著者

関連著者

• 川崎 孝

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

• 川崎 仁晴

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

• 金 洪杰

  九州大学大学院システム情報科学府電子デバイス工学専攻

• 川崎 仁晴[他]

  九州大学大学院システム情報科学研究科電子デバイス工学専攻

著作論文

• 水素ラジカル源を有するプラズマCVD装置による高品質銅薄膜形成とトレンチ埋め込み
• 水素ラジカル源を有するプラズマCVD装置による高品質銅薄膜形成
• 次世代銅配線材料の水素ラジカルによる膜質制御

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