岡部 秀光 | 茨城大学大学院

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• 清水 淳

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• 周 立波

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著作論文

• 微小引っかきによるシリコンウエハ研削現象の解析
• 209 Siウエハのナノ引っかき実験とシミュレーション(OS-7 ナノ・マイクロ加工)
• 振動援用切削の分子動力学シミュレーション : 振動条件について(オーガナイズドセッション,計算力学とその応用)
• 909 Siウエハのナノ引っかきに関する研究 : ダイヤモンド砥粒による検討(関東支部 茨城講演会)

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