斉藤 紀子 | トプコン

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概要

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• 川島 浩幸

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• 小林 亮夫

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著作論文

• 0118 静電駆動型DMによる波面収差補正アルゴリズムの開発(G10-4 動的設計,G10 機械力学・計測制御)
• 1117 静電駆動型DMの開発 : 第1報:DMを用いた波面補償システム(要旨講演,マイクロメカトロニクス)

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