後藤 裕史 | 広島大学集積化システム研究センター

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概要

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• 同名の論文著者
• 広島大学集積化システム研究センターの論文著者

関連著者

• 横山 新

  広島大学集積化システム研究センター

• 芝原 健太郎

  広島大学集積化システム研究センター

• 芝原 健太郎

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所:広島大学大学院先端物質科学研究科

• 後藤 裕史

  広島大学集積化システム研究センター

• 横山 新

  広島大学ナノデバイス・バイオ融合科学研究所

著作論文

• セルフリミット機構を有するシリコン窒化膜の原子層デポジション

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