田中 宏典 | 長崎大学工学部大学院生産科学研究科

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概要

• 同名の論文著者
• 長崎大学工学部大学院生産科学研究科の論文著者

長崎大学工学部大学院生産科学研究科 | 論文

• 基板表面磁界がスパッタ薄膜結晶配向性に及ぼす影響
• ハーモニック電子サイクロトロン共鳴マイクロプラズマ源の開発
• 走査プラズマ法を用いた高分子フィルム上へのZnO薄膜の低温形成
• MgO薄膜高速成膜のための誘導結合プラズマ支援反応性スパッタリング法の開発
• MgO高速成膜用誘導放電支援反応性スパッタリング法の開発(発光型/非発光型ディスプレイ合同研究会)

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