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平野 正大 | 筑波大院
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関連著者
宮崎 修一
筑波大
宮崎 修一
筑波大学大学院数理物質科学研究科
鈴木 博章
筑波大学
鈴木 博章
筑波大
平野 正大
筑波大院
細田 秀樹
筑波大学
谷口 誠
筑波大院
著作論文
1518 Ti-Ni 形状記憶合金スパッタ薄膜を用いたダイアフラム型マイクロアクチュエータの動特性
910 Ti-Ni 合金スパッタ薄膜を用いたマイクロアクチュエータの基本特性に及ぼす熱処理の効果
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