中田 公宏 | 東海大学工学部

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概要

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• 同名の論文著者
• 東海大学工学部の論文著者

関連著者

• 森 崇

  東海大学

• 村原 正隆

  東京工業大学 イノベーション研究推進体

• 村原 正隆

  東海大学

• 中田 公宏

  東海大学工学部

• 望月 正貴

  東海大学工学部

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• 岡本 俊夫

  東海大学

• 飯塚 仁志

  東海大学

• 森 崇

  東海大学工学部

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著作論文

• 酸素引き抜き反応と保護膜形成反応を同時進行させたSiO_2のレジストレス光エッチング
• 酸素引き抜き反応によるSiO_2の光エッチング
• 単結晶3C-SiCのレジストレスパターンエッチング

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