飯塚 仁志 | 東海大学

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概要

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• 森 崇

  東海大学

• 村原 正隆

  東京工業大学 イノベーション研究推進体

• 村原 正隆

  東海大学

• 飯塚 仁志

  東海大学

• 望月 正貴

  東海大学(工)

• 中田 公宏

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• 岡本 俊夫

  東海大学

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  東海大学工学部

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著作論文

• 透明SiO_2膜形成とアニールによる屈折率制御
• 3C-SiC基板のレーザーエッチング -反応生成物とエッチング効果-
• 逐次酸化還元による透明SiO_2の室温形成
• SiO_2膜形成を目的としたSi表面の光化学的クリーニング
• 酸素引き抜き反応によるSiO_2の光エッチング

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