岡本 章雄 | NTT境界領域研究所

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概要

• 同名の論文著者
• NTT境界領域研究所の論文著者

関連著者

• 陶山 史朗

  Ntt境界領域研究所(nttグループ事業推進本部)

• 白井 誠一

  Ntt境界研

• 芹川 正

  Nttエレクトロニクスlsi事業部saセンター

• 芹川 正

  NTT境界研

• 岡本 章雄

  NTT境界領域研究所

著作論文

• O_2-Ar中スパッタ法によるpoly-Si TFT用ゲートSiO_2膜の低温形成

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