北川 喜康 | 金沢工業大学 高度材料科学R&Dセンター
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概要
関連著者
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著作論文
- 24pZ-8 表面物性制御への応用を目的とした高品質中性ラジカルビームの生成技術の開発 (I) : PDINIB装置の改良
- 27a-PS-20 デバイスプロセスへの応用を目的とした高品質中性ラジカルビームの生成、評価技術の開発