貴田 桂介 | 中部大工

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概要

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著作論文

• 静磁界を用いた CVD 用プラズマ源の開発
• 27a-ZA-10 新しい2電子温度プラズマ源とその応用 : potential制御の側面から
• 3p-G1-9 静磁界を用いたCVD用大容量プラズマ源の開発(放電)

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