鈴木 準一 | 島津製作所
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概要
関連著者
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鈴木 準一
島津製作所
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川原田 洋
早大理工
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平木 昭夫
大阪大学工学研究科フロンティア研究センター
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岡田 繁信
島津製作所
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平木 昭夫
大阪大学工学部
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鈴木 準一
(株) 島津製作所産業機械事業部
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川原田 洋
大阪大学工学部
著作論文
- ECRプラズマCVD法によるDLC膜の成膜とハ-ドディスク装置用ヘッドへの応用
- 有磁場マイクロ波プラズマCVD法およびマイクロ波プラズマCVD法によるダイヤモンド薄膜の作製
- プラズマCVD法によるダイヤモンドの生成--磁場中のマイクロ波プラズマについて
- プラズマCVD法によるa-Si膜の作成と太陽電池への応用