藤樫 勇気 | 北海道大学工学研究科量子エネルギー工学

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概要

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関連著者

• 花田 和明

  核融合科学研究所

• 日野 友明

  北大工

• 藤樫 勇気

  北海道大学工学研究科量子エネルギー工学

• 廣畑 優子

  北大

• 広畑 優子

  北大院工

• 日野 友明

  北大院工

• 日野 友明

  北海道大学大学院工学研究科

• 広畑 優子

  北海道大学大学院工学研究科

• 広畑 優子

  北大工

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  北大院工

• 日野 友明

  北海道大学

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  北大工

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著作論文

• 反応性スパッタ法による高硬度窒化炭素膜(CN_X)の作製
• 27pA36P 反応性スパッタ法による高硬度窒化炭素膜(CN_X)の作製(プラズマ基礎・応用)
• 26pB22p CN_X膜の作製と表面特性評価(ヘリカル/プラズマ応用)

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