江刺 正喜 | 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

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概要

• 同名の論文著者
• 東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センターの論文著者

関連著者

• 江刺 正喜

  東北大学マイクロ・ナノマシニング研究教育センター

• 江刺 正喜

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科

• 田中 秀治

  東北大学大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学wpi-aimr

• 松崎 栄

  東北大学 大学院工学研究科

• 江刺 正喜

  東北大学

• 田中 秀治

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター:東北大学大学院工学研究科

• 平野 栄樹

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

• 安江 敏輝

  東北大学大学院工学研究科

• 菊田 利行

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

• 松崎 栄

  東北大学マイクロシステム融合研究開発センター

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著作論文

• 特別講演 MEMS(微小電気機械システム)における産学連携 (第24回センシングフォーラム資料--センシング技術の新たな展開と融合)
• 電気的接続を伴うLTCC基板とSi基板との陽極接合
• 半導体微細加工技術を中心に作られるマイクロシステム(特別講演)
• AS-2-3 転写法によるSAW基板上への強誘電体バラクタの集積化(AS-2.弾性波デバイスの現状と将来,シンポジウムセッション)

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