Otsuka T | Samsung Electronics Co. Ltd. Kyungki‐do Kor

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概要

• 同名の論文著者
• Samsung Electronics Co. Ltd. Kyungki‐do Korの論文著者

関連著者

• Otsuka T

  Samsung Electronics Co. Ltd. Kyungki‐do Kor

• Otsuka Toru

  Isobe R&d Center Shin-etsu Handotai Co. Ltd.

• Habuka Hitoshi

  Isobe R&d Center Shin-etsu Handotai Co. Ltd.

著作論文

• Reaction of Hydrogen Fluoride Gas at High Temperatures with Silicon Oxide Film and Silicon Surface

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