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勝田 伸一 | 日本電気ホームエレクトロニクス(株)開発研究所
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関連著者
勝田 伸一
日本電気ホームエレクトロニクス(株)開発研究所
川西 義隆
日本電気ホームエレクトロニクス(株)開発研究所
著作論文
反応性スパッタによるSiN薄膜の安定性
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