相沢 正信 | 東陶機器(株)基礎研究所

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概要

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• 同名の論文著者
• 東陶機器(株)基礎研究所の論文著者

関連著者

• 平井 敏雄

  東北大学金属材料研究所

• 相沢 正信

  東陶機器 基礎研

• 山根 久典

  東北大学金属材料研究所

• 相沢 正信

  東陶機器(株)基礎研究所

• 小林 千尋

  東陶機器(株)基礎研究所

著作論文

• β-ジケトン金属錯体を原料に用いたCVD法によるZrO_2-Y_2O_3系酸化物薄膜の合成
• H_2-CO_2 を酸化ガスに用いた CVD 法による ZrO_2 膜の作製

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