船津 隆一 | (株)日立製作所生産技術研究所

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  (株)日立産機システム研究開発センタ

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著作論文

• 6自由度微動機構による超精密ウエハ位置決め
• 斜方結像光学系を用いたX線露光装置用アライメントパターン検出法
• ピエゾ素子駆動形ウエハ変形チャックを用いたウエハ表面平坦化制御

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