平野 亮一 | 株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

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関連著者

• 平野 亮一

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• 山崎 聡

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• 平野 亮一

  東芝機械(株)

• 東條 徹

  東芝機械(株)

• 斎藤 晋

  (株)トプコン

• 小笠原 宗博

  (株)東芝研究開発センター

• 中山田 憲昭

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 松木 一人

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 飯島 智浩

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 小碇 創司

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 明野 公信

  株式会社東芝研究開発センターLSI基板技術ラボラトリー

• 下村 尚治

  (株)東芝

• 大歳 研司

  東芝機械(株)

• 山崎 聡

  東芝機械(株)

• 福留 裕二

  (株)東芝

• 玉虫 秀一

  東芝機械(株)

• 滝川 忠宏

  (株)東芝

• 渡邊 真也

  (株)トプコン

• 阿部 和夫

  (株)トプコン

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著作論文

• 0.18um以降世代用電子ビームマスク描画装置EX-11の開発 : 電子ビームマスク描画装置EX-11の描画精度評価
• ダウンフロープロセスの電子ビーム描画装置材料への影響
• 光ヘテロダイン法を用いた電子ビーム描画装置用精密位置測定法(XYZセンサ)の開発

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