OKANO Masato | NALUX Co., Ltd.

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概要

• 同名の論文著者
• NALUX Co., Ltd.の論文著者

関連著者

• Okano M

  Nalux Co. Ltd.

• OKANO Masato

  NALUX Co., Ltd.

• HIRAI Yoshihiko

  Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University

• KIKUTA Hisao

  Graduate School of Engineering, Osaka Prefecture University

著作論文

• Optimal Design for Nonperiodic Fine Grating Structure Controlled by Proximity Correction with Electron-Beam Lithography

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