平野 真也 | (株)ルネサステクノロジ ウエハプロセス技術統括部

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概要

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• 同名の論文著者
• (株)ルネサステクノロジ ウエハプロセス技術統括部の論文著者

関連著者

• 平野 真也

  (株)ルネサステクノロジ ウエハプロセス技術統括部

• 宮本 誠

  三菱電機(株)先端技術総合研究所

• 千葉原 宏幸

  (株)ルネサステクノロジ ウエハプロセス技術統括部

著作論文

• Low-k 材料のCMP後洗浄技術
• Low-k材料のCMP後洗浄技術 (特集 CMP技術の克服するべき課題と今後の展開)

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