栃谷 元 | 佐賀大学理工学部電気工学科
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概要
関連著者
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大津 康徳
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服部 賢二
大陽東洋酸素(株)
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亀川 宣広
日本エイ・エム・ディ(株)
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常定 信利
日本電気(株)
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浅野 一博
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永田 裕之
佐賀大学理工学部
著作論文
- 大口径マイクロ波SF_6プラズマによるシリコンの大面積エッチング
- ホロー電極型rfマグネトロンスパッタリングによる銅薄膜の製作
- rf放電プラズマにおける駆動周波数の役割に関する実験的解明
- 発散型磁界ECRSF6プラズマのプローブ測定
- He-SF6高周波アフターグロープラズマ中の荷電粒子の消滅過程