栃谷 元 | 佐賀大学 理工学部

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概要

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• 同名の論文著者
• 佐賀大学 理工学部の論文著者

関連著者

• 栃谷 元

  佐賀大学 理工学部

• 大津 康徳

  佐賀大学理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大学 理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工学部

• 大津 康徳

  佐賀大学 理工学部

• 大津 康徳

  佐賀大学

• 栃谷 元

  佐賀大学理工学部電気工学科

• 藤田 寛治

  佐賀大学理工

• 栃谷 元

  昭和電線電纜株式会社

• 大津 康徳

  佐賀大学工学系研究科

• 栃谷 元

  昭和電線電らん 商品開セ

• 栃谷 元[他]

  昭和電線電纜(株)

• 服部 賢二

  大陽東洋酸素(株)

• 山田 直人

  金沢工業大学

• 藤田 寛治

  佐賀大理工

• 松本 勝利

  佐賀大学工学系研究科

• 黒岩 和光

  佐賀大学工学系研究科

• 鶴目 善信

  佐賀大学 理工学部

• 中島 俊雄

  佐賀大学 理工学部

• 脇田 典宏

  佐賀大学 理工学部

• 森 圭一

  佐賀大学 理工学部

• 前田 孝

  佐賀大学 理工学部

• 亀川 宣広

  日本エイ・エム・ディ(株)

• 常定 信利

  日本電気(株)

• 栃谷 元

  佐賀大学・理工学部

• 大津 康徳

  佐賀大学・理工学部

• 藤田 寛治

  佐賀大学・理工学部

• 浅野 一博

  佐賀大学理工学部

• 若林 裕望

  佐賀大学 理工学部

• 永田 裕之

  佐賀大学理工学部

• 山田 直人

  佐賀大学 理工学部

• 中島 俊雄

  佐賀大理工

• 前田 孝

  佐賀大学

• 藤田 寛治

  佐賀大学・理工

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著作論文

• 高周波スパッタ法による微粒子プラズマの発生と微粒子のプラズマに及ぼす影響の解析
• 加圧法及び重水素グロー放電法を用いたパラジウムへの重水素吸蔵に関する実験的検討
• ホロー電極型高周波マグネトロンプラズマによる銅薄膜形成
• 低電子温度負イオンプラズマ中におけるシース構造の測定
• マイクロ波大口径プラズマにおける基板入射イオンの観測
• 拡散型マイクロ波大面積プラズマにおける基板入射イオンの速度分布関数
• 高周波放電プラズマ中の電子エネルギー分布に及ぼす駆動周波数の影響
• 大口径マイクロ波SF_6プラズマによるシリコンの大面積エッチング
• ホロー電極型rfマグネトロンスパッタリングによる銅薄膜の製作
• rf放電プラズマにおける駆動周波数の役割に関する実験的解明
• 高周波放電およびマイクロ波放電による負イオンプラズマのプローブ計測
• 発散型磁界ECRSF6プラズマのプローブ測定
• 流体モデルを用いた非対称RF放電プラズマのモデリング
• He-SF6高周波アフターグロープラズマ中の荷電粒子の消滅過程
• 高周波プラズマにおける微粒子の注入効果

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