可児 利佳子 | (株)東芝研究開発センタ

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概要

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• (株)東芝研究開発センタの論文著者

関連著者

• 可児 利佳子

  (株)東芝研究開発センタ

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センター

• 中野 義彦

  (株)東芝研究開発センター

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センター材料デバイス研究所

• 早瀬 修二

  (株)東芝研究開発センタ

著作論文

• アルカリ水溶液で現像できる次世代リソグラフィー用ポリシラン
• 機能性ポリシランの合成とそれを使った配向薄膜

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