池田 洋直 | セイコーエプソン株式会社半導体事業部IC・CS品質保証部分析・新技術担当

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概要

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関連著者

• 石井 達也

  セイコーエプソン

• 石井 達也

  セイコーエプソン株式会社半導体事業部

• 池田 洋直

  セイコーエプソン株式会社半導体事業部IC・CS品質保証部分析・新技術担当

• 石井 達也

  セイコーエプソン株式会社 Tft事業部tft・cs品質保証部

• 石井 達也

  セイコーエプソン株式会社半導体事業部ic・cs品質保証部

• 池田 洋直

  セイコーエプソン株式会社

• 石井 達也

  セイコーエプソン株式会社

著作論文

• 2-4 FIB-VC観察によるMOSトランジスタのリークパス特定(日本信頼性学会第12回研究発表会発表報文集)
• 擬似発光/SSRMを用いた微細SRAMセルの欠陥位置特定
• 擬似発光/SSRMを用いた微細SRAMセルの欠陥位置特定

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