伊藤 昭夫 | 富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部
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概要
関連著者
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伊藤 昭夫
富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部
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伊藤 昭夫
電気試験所
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伊藤 昭夫
電気試験所材料部真空技術研究室
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林 康明
京都工芸繊維大学大学院
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伊藤 昭夫
日本真空技術(株)
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伊藤 昭夫
富士通研究所
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遠藤 康浩
富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部
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野本 田一
電気試験所田無分室
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本荘 一郎
富士通研究所ペリフェラルシステム研究所計測制御システム研究部
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伊藤 昭夫
電子技術総合研究所
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石井 博
工業技術院電気試験所
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伊藤 昭夫
工業技術院電気試験所
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野本 田一
電気試験所
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伊藤 昭夫
電気試験所真空技術研究室
著作論文
- 偏光解析法を利用した膜厚モニタ (第23回真空に関する連合講演会プロシ-ディングス--昭和57年11月,神戸)
- Pa(パスカル)とTorr(トル)--真空工業における圧力単位のSIへの移行
- マイクロフィールドエミッション電子銃の超小型電子ビームシステムへの応用
- 真空システムの信頼性と規格 (真空装置の信頼性特集)
- 出版委員会 (第6回真空科学国際会議・第2回固体表面国際会議(特集)) -- (委員会報告)
- プラズママイクロジェットの試作
- コーティング技術・膜の性質 (第4回真空冶金国際会議に出席して)
- 高周波化成スパッタリングによるAIN薄膜の作製ならびにその性質について
- 連続および半連続式横型蒸着装置について (連続蒸着(小特集))
- 鉄-ニッケル合金の蒸発特性
- 超高真空連続蒸着装置 その構成と真空特性
- 蒸気噴射ポンプ用油について
- 真空システムの信頼性と規格
- 連続および半連続式横型蒸着装置について
- 鉄-ニッケル合金の蒸発特性
- 超高真空連続蒸着装置 その構成と真空特性
- 蒸気噴射ポンプ用油について