山田 公 | 兵庫県立大工
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概要
関連著者
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山田 公
兵庫県立大工
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豊田 紀章
兵庫県立大工
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春山 雄一
兵庫県立大高度研
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松井 真二
兵庫県立大高度研
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神田 一浩
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
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北川 晃幸
(株)野村鍍金
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松井 真二
兵庫県立大
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春山 雄一
兵庫県立大学 高度産業科学技術研究所
-
北川 晃幸
(株)野村鍍金 技術部
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春山 雄一
兵庫県立大
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神田 一浩
兵庫県立大
-
春山 雄一
姫路工大高度研
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寳角 真吾
兵庫県立大学大学院工学研究科
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竹嶋 圭吾
兵庫県立大学大学院工学研究科
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持地 広造
兵庫県立大学大学院工学研究科
-
持地 広造
兵庫県大工
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持地 広造
兵庫県立大学大学院 工学研究科
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山田 公
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
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豊田 紀章
姫路工業大学高度産業科学技術研究所
著作論文
- 26aPS-3 Arクラスターイオンビーム援用蒸着法により作成したDLC薄膜の電子状態II(ポスターセッション,領域5,光物性)
- 特集 ガスクラスターイオンビームを利用した微細加工 ガスクラスターイオンビーム(GCIB)を利用した高精度ナノ加工
- Surface roughness reduction using gas cluster ion beams for Si photonics
- クラスターイオンと固体表面との相互作用--表面衝突現象、照射効果
- 23pPSA-11 Arクラスターイオンビーム援用蒸着法により作成したDLC薄膜の電子状態(領域5ポスターセッション,領域5,光物性)
- ガスクラスターイオンビームの超低エネルギー照射効果
- ガスクラスターイオンビームプロセス (小特集 イオン技術の新しい発展)
- Summary of industry-academia collaboration projects on cluster ion beam process technology
- Non-contact wafer fabrication process using gas cluster ion beams
- Cluster size dependence of etching by reactive gas cluster ion beams
- Cluster size dependence of SiO2 thin film formation by O2 gas cluster ion beams
- Size effects of gas cluster ions on beam transport, amorphous layer formation and sputtering
- クラスターイオンビーム・ナノ加工技術とその応用
- ガスクラスターイオンビームプロセス