木村 紳一郎 | 日立中研

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概要

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関連著者

• 木村 紳一郎

  日立中研

• 木村 紳一郎

  日立製作所中央研究所

著作論文

• 2004 VLSIテクノロジーシンポジウム報告
• Si-ULSIにおけるサブミクロンコンタクト (半導体デバイスにおけるコンタクト材料)
• DRAMにおける電荷蓄積 (情報を担う静電荷)
• マイクロ波放電プラズマによるシリコンの低温酸化

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